4工位/單工位恒溫臺
產品分類
全部分類
自動上下料，自動對位、自動測試、自動分選出料
平坦度≤±5um,位置精度≤±0.1um
漏檢率≤0.3%、過檢率≤5%
自主開發軟件算法，配置自動上報CIM功能
尺寸 長*寬*高： 5.35m *5.24m *2.29m（多工位搭配）
樣品大小 4~6in
相機 高分面掃≥1200萬
檢驗精度 5um
運動系統 采用高精度伺服電機，高精度滾珠螺桿，微米級
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